• โครงสร้างทางกลที่มั่นคง แบบด้านเดียวการออกแบบสะพานเคลื่อนที่เหนือศีรษะช่วยลดการเคลื่อนตัวมวลและนำไดรฟ์เข้าใกล้ศูนย์กลางการเคลื่อนที่มากขึ้นของมวลซึ่งลดข้อผิดพลาดของ Abbe ได้อย่างมีประสิทธิภาพปรับปรุงประสิทธิภาพการเคลื่อนไหวและความเสถียรของความแม่นยำ

• ไกด์แบริ่งลมที่มีความแข็งแกร่งและประสิทธิภาพสูงนำมาซึ่งไม่เสียดสี ไม่สึกหรอ ไม่ขาด และแกนทั้งสามก็เป็นออกแบบให้มีโครงสร้างห่อหุ้มด้วยอากาศการตรวจสอบแรงดันแบริ่งอย่างมีประสิทธิภาพช่วยให้แน่ใจได้ว่าความเสถียร

​

• อุณหภูมิเชิงเส้นต่ำพิเศษและการขยายตัวเชิงเส้นมาตราส่วนสัมประสิทธิ์สำหรับแกนทั้งสามนั้นไม่ไวต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพความแม่นยำของเครื่องจักร

​

• การนำวัสดุใหม่มาใช้ ส่วนโครงสร้างหลัก ได้แก่ทำจากเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความแม่นยำสูงซึ่งให้ความแข็งแกร่งที่สูงขึ้นและเส้นตรงอุณหภูมิที่ต่ำกว่าระสิทธิภาพการขยายตัวขณะทำการเคลื่อนย้ายสะพานมีน้ำหนักเบากว่ามาก ทำให้มีความแม่นยำมากขึ้นความน่าเชื่อถือในระยะยาว

​

• ความปลอดภัย แกน Z อยู่ภายใต้การป้องกันของทั้งรรกะนิวเมติกส์ของกระบอกสูบสมดุลและกลไกยึดาร์ดแวร์ เพื่อความปลอดภัยเซ็นเซอร์ในกรณีฉุกเฉิน